檢索結果:共29筆資料 檢索策略: "Thin film".ekeyword (精準) and cdept.raw="化學工程系"
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中文摘要 本論文利用電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD) 沉積矽薄膜於自組裝單分子薄膜(SAM)改質後的玻璃基板,並使用AFM、SEM觀察矽薄膜的表面形態受到不同形式(長鏈、短鏈、環狀)自…
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本研究論文成功製作出無色透明有機薄膜電晶體,並利用纏繞微量奈米碳管,以有效提升聚三苯胺共軛高分子衍生物(Polytriarylamine,PTAA)製成薄膜電晶體的電性;並探討纏繞不同含量的奈米…
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本論文之主要研究為利用自組裝單分子層薄膜 ( SAM ) 修飾有 機薄膜電機體元件的氧化銦錫 ( ITO ) 電極表面;藉由不同官能基之 自組裝單分子層薄膜分子成長於氧化銦錫( ITO ) 基板…
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In this work AZO and CZTS thin films were prepared using solution process for solar cell Applicatio…
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本論文利用連續式電漿,以層層交錯的方式沉積丙烯酸與苯胺兩種分別具有羧基與胺基之前驅物,製備含胺基與羧基之多層薄膜,於矽晶圓與聚苯乙烯兩種不同的基材,並利用物理化學方法探討電漿功率、沉積時間等電漿參數…
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一般而言,薄膜電晶體使用黃光微影製程來進行圖案化以防止柵極漏電流,但是該方法不適合用於溶液製程的薄膜電晶體。我們開發了一種簡單快速的方法,透過旋轉塗佈自組裝單分子來製造具有低柵極漏電流的薄膜電晶體。…
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本研究使用超高頻電漿化學氣相沉積系統來製備微晶矽薄膜,同時利用放射光譜儀來觀測電漿中成分的變化,並將放射光譜儀的量測結果和薄膜的結構特性做比較。並藉由調整電漿功率、反應總壓、上下電極間距、氫氣稀釋比…
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本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數如基材溫度、反應壓力及甲烷摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以設計出非晶…
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In this work, hydrogenated microcrystalline silicon (μc-Si:H) films deposited through very high fr…
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積體電路尺度微縮的情況下,銅導線的寬度也成為技術突破的一大挑戰,其中降低擴散阻擋層厚度至分子尺度將會有很大的幫助。為達到分子級尺度的擴散阻擋層並且符合無毒性元素的材料條件下,本論文選用三種不同結構的…